MEMS
MEMS一般指微机电系统。微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技查看详情>术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
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多重应用需求爆发，全球 MEMS 和 传感器厂产能提升
10 月 31 日讯，SEMI 发布了至 2023 年的最新 MEMS 和传感器晶圆制造厂（Fab）报告，报告称，预计在 2018 年到 2023 年期间，由于通信、运输、医疗、移动、工业、机器人、物
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